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  按申请年分类 展开 收起 

99 2013

89 2012

79 2011

73 2010

60 2007

55 2004

55 2005

53 2008

50 2003

47 2014

39 2009

31 2002

31 2006

20 2001

18 2000

15 1998


  按授权状态分类

535 授权

359 未授权


  按IPC号分类 展开 收起 

532 G03F

232 G03B

56 G03H

50 G03C

14 G03G

10 G03D


  按专利类型分类

701 发明专利

193 实用新型




【 专利技术 】
 
已选条件: 专利
一种投影物镜倍率及畸变的检测装置及方法 [2013-07-04]
申请号:CN201310277804.1 申请人:中国科学院光电技术研究所
一种改进的快门延时测量系统 [2013-07-09]
申请号:CN201310285728.9 申请人:中国科学院光电技术研究所
一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法 [2013-07-04]
申请号:CN201310279661.8 申请人:中国科学院光电技术研究所
一种包含镜头和屏幕的正向投影装置 [2013-07-05]
申请号:CN201310280867.2 申请人:中国科学院半导体研究所
一种改进的航空相机调焦系统 [2013-07-09]
申请号:CN201310285961.7 申请人:中国科学院光电技术研究所
一种三自由度纳米定位微动硅片台 [2013-06-29]
申请号:CN201310270299.8 申请人:中国科学院光电技术研究所
一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置 [2013-05-16]
申请号:CN201320268368.7 申请人:中国科学院光电研究院
基于乙烯吡咯烷酮共聚物树脂的阳离子-自由基混杂光聚合型平版印刷版材料 [2012-03-28]
申请号:CN201210085747.2 申请人:中国科学院理化技术研究所
一种纳米图形化系统及其磁场施加装置 [2012-04-01]
申请号:CN201210096470.3 申请人:中国科学院物理研究所
光栅剪切三维成像系统及光栅剪切三维成像方法 [2013-04-01]
申请号:CN201310111203.3 申请人:中国科学院高能物理研究所
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