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532 G03F

232 G03B

按专利类型分类

701 发明专利

193 实用新型

【　专利技术　】

已选条件：专利

一种投影物镜倍率及畸变的检测装置及方法	[2013-07-04]
申请号:CN201310277804.1 申请人:中国科学院光电技术研究所

一种改进的快门延时测量系统	[2013-07-09]
申请号:CN201310285728.9 申请人:中国科学院光电技术研究所

一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法	[2013-07-04]
申请号:CN201310279661.8 申请人:中国科学院光电技术研究所

一种包含镜头和屏幕的正向投影装置	[2013-07-05]
申请号:CN201310280867.2 申请人:中国科学院半导体研究所

一种改进的航空相机调焦系统	[2013-07-09]
申请号:CN201310285961.7 申请人:中国科学院光电技术研究所

一种三自由度纳米定位微动硅片台	[2013-06-29]
申请号:CN201310270299.8 申请人:中国科学院光电技术研究所

一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置	[2013-05-16]
申请号:CN201320268368.7 申请人:中国科学院光电研究院

基于乙烯吡咯烷酮共聚物树脂的阳离子-自由基混杂光聚合型平版印刷版材料	[2012-03-28]
申请号:CN201210085747.2 申请人:中国科学院理化技术研究所

一种纳米图形化系统及其磁场施加装置	[2012-04-01]
申请号:CN201210096470.3 申请人:中国科学院物理研究所

光栅剪切三维成像系统及光栅剪切三维成像方法	[2013-04-01]
申请号:CN201310111203.3 申请人:中国科学院高能物理研究所

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