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  按申请年分类 展开 收起 

20 2010

16 2013

14 2014

13 2011

12 2012

9 2008

6 2009

5 2000

4 2005

3 1996

3 2002

3 2003

3 2007

2 1992

2 1999

2 2004


  按授权状态分类

80 授权

45 未授权


  按IPC号分类 展开 收起 

125 B08B


  按专利类型分类

73 发明专利

52 实用新型




【 专利技术 】
 
已选条件: 专利
一种变幅杆式的超声清洗枪 [2013-07-25]
申请号:CN201310315101.3 申请人:中国科学院声学研究所
一种清洗槽式的超声清洗枪 [2013-07-25]
申请号:CN201310315587.0 申请人:中国科学院声学研究所
一种常压等离子体自由基清洗系统 [2012-04-05]
申请号:CN201210097143.X 申请人:中国科学院微电子研究所
一种新型常压双射频电极的等离子体自由基清洗喷枪 [2012-04-05]
申请号:CN201210097139.3 申请人:中国科学院微电子研究所
一种对硅酸镓镧晶片进行清洗的方法 [2014-04-17]
申请号:CN201410155237.7 申请人:中国科学院微电子研究所
传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法 [2014-03-31]
申请号:CN201410125393.9 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
一种用于超声波啤酒瓶清洗线的水密舱 [2006-11-01]
申请号:CN200620148255.3 申请人:中国科学院声学研究所
一种便携式紫外臭氧光清洗机 [2007-11-14]
申请号:CN200720190148.1 申请人:中国科学院研究生院
气缸式超声波清洗机 [2007-12-26]
申请号:CN200720190904.0 申请人:中国科学院声学研究所
一种超声波洗篮机 [2007-12-26]
申请号:CN200720190905.5 申请人:中国科学院声学研究所
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